در این مقاله لایههای نازک اکسید روی آالائیده با آلومینیوم(AZO) بر زیرلایه شیشهای به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم لایهنشانی شدند. اثر فشار گاز آرگون بر مورفولوژی سطح لایهها و ویژگیهای اپتیکی مورد ارزیابی قرار گرفت. مورفولوژی سطحی لایهها نشان میدهد با افزایش فشار گاز آرگون، اندازه تقریبی میانگین نانو ذرات افزایش یافتهاند. نتایج بیشترین مقدار را برای لایه نازک AZO با فشار دارد که نشان دهنده کاهش حالات جایگزیده و انتقال درصد حاملهای بار جایگزیده به درصد حاملهای بار آزاد میباشد، همچنین با افزایش فشار گاز آرگون ثابت دیالکتریک شبکه افزایش یافت.
