پوشش هایDLC به دلیل خواص مکانیکی عالی همانند سختی بالا، اصطکاک کم و مقاومت در برابر سایش دارای کاربرد بسیار وسیعی در صنایع مخصوصا صنایع پزشکی و زیست پزشکی دارد. روشهایی مختلفی همانند رسوب دهی فیزیکی از فاز بخار و رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما جهت اعمال پوشش نانوساختار DLC مورد استفاده قرار می گیرد. در این مقاله پوشش DLC با استفاده از فرایندرسوب دهی فیزیکی از فاز بخار و گازهای آرگون، متان و هیدروژن با مجموع دبی محفظه 100 سی سی بر دقیقه بر سطح آلیاژ تیتانیوم اعمال شده است. ابتدا گاز آرگون از دمای محیط تا دمای 200 درجه سانتیگراد به مدت 40 دقیقه جهت اچ کردن پلاسمایی در ولتاژ 500 ولت استفاده شده و سپس در دمای 200 درجه سانتیگراد گازهای هیدروژن و متان را وارد نموده، در ادامه پوشش دهی در ولتاژ 400 ولت و به مدت 120 دقیقه بر روی سطح آلیاژ تیتانیوم اعمال شده است. سپس رفتار ساختاری، فازی و خواص مکانیکی پوشش به ترتیب با استفاده از FESEM، GIXRD و FT-IR مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده تشکیل پوشش همگن، یکنواخت و نانوساختار با ضخامت نانومتری مناسب برای کابردهای پزشکی به عنوان ایمپلنت است.
