آلیاژ NiTi به دلیل در بر داشتن خواصی همانند انعطاف پذیری فوق العاده با کرنش بزرگ قابل بازگشت، اثر حافظه داری، ویژگی های میرایی بالا، مقاومت خوردگی و زیست سازگاری خوب، دارای کاربرد وسیعی در ساخت قطعات پزشکی و بایو مواد است. در این تحقیق سطح آلیاژ NiTi تحت عملیات بهبود سطحی از طریق کربن دهی بوسیله فرایند کاشت یونی پلاسمایی (CPIII) قرار گرفته، سپس خواص فازی و رفتار نانومکانیکی پوشش به ترتیب بوسیله آنالیز GIXRD و میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و روشهای نانودندانه گذاری و نانو خراش مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج بیانگر سطح کاملا همگن، یکنواخت و عاری از نواقص سطحی با عمق کاشت یونی کربن در حدود 50 نانومتر همراه با کاهش میانگین زبری سطحی از34.023 و 25.180 نانومتر است. بطورکلی فرایند کاشت یونی منجر به افزایش سختی و مدول الاستیک به ترتیب 80.7 و 21.8 درصد و کاهش ضریب اصطکاک متوسط از0.21 به 0.16 گردیده است.