ارتعاشات در میز های هوایی ماشین های فوق دقیق مانع تحقق دقت های در حد نانو می گردد. انواع ارتعاشات داخلی ، ریز لرزه ها و چکش هوایی ، و عوامل بوجود آورنده آنها در مقاله حاضر بررسی می شوند. و برای کاهش تاثیر آنها پیشنهاد هایی ارائه می گردد. در این مقاله همچنین به آزمایشات ارتعاشی بر روی میز های هوایی ساخته شده با تعداد حوضچه های هوایی متفاوت نیز پرداخته شده است. فشار های بحرانی، تحلیل ارتعاشات خود تحریک و پیش بینی رفتار نقاط مختلف میز (که ممکن است بر آن ابزار یا قطعه کار بسته شود) توسط داده های مختلف ارتعاشی، از نتایج آزمایشات است.
