در دهه گذشته، میکروسکوپی روبشی یون های تابشی به نمونه از یک روش تصویر برداری ساده به یک تکنیک متنوع آنالیز تجزیه و تحلیل با کاربرد وسیع در ترکیب با سایر تکنیک های میکروسکوپ هسته ای مانند گسیل اشعه ایکس القا شده توسط ذرات فرودی و طیف سنجی برگشتی رادرفورد تبدیل شده است. وقتی که میکروباریکه متمرکز شده با انرژی چند MeV روی یک نمونه اسکن می شوند، انرژی یون های عبوری می تواند برای هر یک از پیکسل های تعریف شده اندازه گیری شود و می توان از آن برای به دست آوردن تصاویر دو-بعدی اتلاف انرژی نمونه استفاده کرد. اگر چه این تصاویر اساساً می تواند از یک یون در هر پیکسل تشکیل شود، اما برای به دست آوردن تصاویر با وضوح بیشتر، تعدادی بیشتری شمارش در هر پیکسل مورد نیاز است. این تصاویر بیانگر چگالی سطحی نیست چراکه تغییرات اتلاف انرژی می تواند تغییر ناشی از چگالی سطحی و توپولوژی نمونه باشد. لذا تعین تغییرات چگالی نمونه از اهمیت ویژه ای برخوردار است.
