این پژوهش به صورت محاسباتی در مورد ارزیابی در تجزیه و تحلیل بهره فلورسانس اشعه ایکس میکروسکوپیکی برای نمونه های ناهموار انجام شده است. در جاروب میکروآنالیزXRF ، توزیع دقیق تر از غلظت عناصر به دست می آید. در این روش برای آشکاسازی نقش ناهمواری نمونه در بهره ی پرتوی ایکس از فوتون فرودی به نمونه از دو آشکارساز هم زمان پرتوی ایکس در دوسوی باریکه استفاده می کنیم. طیف اشعه ایکس حاصل از لوله اشعه ماوراء بنفش به صورت شبیه سازی برای یک نمونه فلزی ارائه شده است. تقارن در بهره ی پرتوی ایکس بدست آمده در دو آشکارساز ناشی از اختلاف جذب پرتوی مشخصه ایکس در ماده در راستای آشکار سازها و به دلیل ساختار ناهموار سطح نمونه می باشد. بنابراین می توان از این کمیت برای تعیین ناهمواری عنصری نمونه استفاده کرد و تحلیل دقیق تر نتایج XRF استفاده کرد.
