قطعات نیترید سیلیسیم دارای مجموعه خواص منحصر به فردی نظیر خواص مکانیکی بالا و پایداری ساختاری در دماهای بالا در عین حال با داشتن خواص الکترومغناطیسی مطلوب میباشند. به منظور تفجوشی سرامیکهای نیترید سیلیسیم با چگالی بالا استفاده از پودر نیترید سیلیسیم با درصد بالای فاز آلفا از اهمیت ویژهای برخوردار است. در این پژوهش روش نیتریداسیون مستقیم به عنوان روش تولید پودر نیترید سیلیسیم با درصد بالای فاز آلفا انتخاب شد. اثر رقیق کننده جهت تولید پودر نیترید سیلیسیم به میزان 10 درصد وزنی در نظر گرفته شد. از دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی و پراش اشعه ایکس به ترتیب جهت بررسی ریزساختار و آنالیز فازهای تشکیل شده استفاده شد. پراش پرتو ایکس پودر بهینه سنتز شده بیانگر عدم حضور ناخالصیهایی همچون O2N2Si و حضور حدود 80 درصد فاز آلفا و 20 درصد فاز بتا است. میزان %10 وزنی رقیق کننده برای تولید پودر نیترید سیلیسیم ضروری و اندازه پودر سیلیسیم بهینه، بین μm 10 تا 1 است. نتایج حاصل از محاسبات ریتولد و توزین همدیگر را تایید نموده و بیانگر تبدیل حدود 60 % وزنی از پودر سیلیسیم اولیه به نیترید سیلیسیم است. انجام عملیات اسیدشویی در محلول HF +3HNO موجب دستیابی به پودر نیترید سیلیسیم با خلوص بالا شد